今天漓源環(huán)保給大家介紹一下碳化硅廢水處理的預(yù)處理方法,目前,半導(dǎo)體芯片制造業(yè)已成為許多國家快速增長的重要產(chǎn)業(yè),預(yù)計在未來這一產(chǎn)業(yè)還將得到快速增長。隨著半導(dǎo)體芯片制造業(yè)的蓬勃發(fā)展,碳化硅回收行業(yè)也迅速形成。碳化硅回收主要針對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)行業(yè)的切削液,切削液中含有聚乙二醇、碳化硅、多晶硅、單晶硅、廢金屬等。
在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)行業(yè)中,切削液具有水量大、高C0D、高懸浮物等特點(diǎn),直接排放將對水環(huán)境造成嚴(yán)重危害。因此,碳化硅微粉回收是一個去除多晶硅、聚乙二醇、廢金屬等雜質(zhì),進(jìn)而回收碳化硅的過程,具有明顯的經(jīng)濟(jì)和環(huán)境效益。
碳化硅回收行業(yè)排放的污水通常含有碳化硅微顆粒、多晶硅、聚乙二醇、硅酸鈉、金屬離子等污染物,與典型的碳化硅生產(chǎn)廢水存在明顯的區(qū)別。目前國內(nèi)外研究主要集中于對碳化硅生產(chǎn)廢水處理,而對碳化硅回收廢水處理的研究報道較少。
在沒有成熟可靠的碳化硅廢水處理技術(shù)之前,碳化硅回收廢水的排放將受到環(huán)保標(biāo)準(zhǔn)的制約。碳化硅回收過程會產(chǎn)生清洗廢水,該廢水具有PH值波動大,COD含量高(主要為聚乙二醇),懸浮物濃度高,鹽分高等特點(diǎn),廢水處理難度較大,已成為困擾碳化硅回收行業(yè)發(fā)展的瓶頸。
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